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Browsing Ponencias (Ingeniería y Ciencia de los Materiales y del Transporte) by Author "Bou, S."
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Presentation
Preliminary experiments for the fabrication of thermally actuated bimorph cantilever arrays on non-silicon wafers with vertical interconnects
Serra, S.G.; Rozynek, Z.; Almansa, A.; Djakov, V.; Scheneider, A.; Huq, S.E.; Montealegre-Meléndez, Isabel; Castillo, P.; Bou, S. (4M Network of Excellence, 2007)This paper describes the first steps for the fabrication of low-cost cantilever arrays, developed at RAL, on non-silicon polymer ...