Modelos teóricos de plasmas de argón y oxígeno usados en la deposición de láminas delgadas

dc.contributor.advisor	Cotrino Bautista, José	es
dc.creator	Palmero Acebedo, Alberto	es
dc.date.accessioned	2015-04-16T09:23:04Z
dc.date.available	2015-04-16T09:23:04Z
dc.date.issued	2002	es
dc.identifier.citation	Palmero Acebedo, A. (2002). Modelos teóricos de plasmas de argón y oxígeno usados en la deposición de láminas delgadas. (Tesis Doctoral Inédita). Universidad de Sevilla, Sevilla.
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/11441/24177
dc.format	application/pdf	es
dc.language.iso	spa	es
dc.rights	Atribución-NoComercial-SinDerivadas 4.0 España
dc.rights.uri	http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/	es
dc.subject	Plasma (Gases ionizados)	es
dc.title	Modelos teóricos de plasmas de argón y oxígeno usados en la deposición de láminas delgadas	es
dc.type	info:eu-repo/semantics/doctoralThesis	es
dcterms.identifier	https://ror.org/03yxnpp24
dc.rights.accessRights	info:eu-repo/semantics/openAccess	es
dc.contributor.affiliation	Universidad de Sevilla. Departamento de Física Atómica, Molecular y Nuclear	es
idus.format.extent	137 p.	es
dc.identifier.idus	https://idus.us.es/xmlui/handle/11441/24177

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H_T.S.-196.pdf	5.894Mb	[PDF]	Ver/Abrir

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