Dielectric breakdown of SiO2 thin films deposited by ion beam induced and plasma enhanced CVD

Barranco Quero, Ángel; Jiménez Marín, Alfonso; Frutos Rayego, Fabián; Cotrino Bautista, José; Yubero Valencia, Francisco; Espinós Manzorro, Juan Pedro; González Elipe, Agustín Rodríguez

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