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Tesis Doctoral
Modelos teóricos de plasmas de argón y oxígeno usados en la deposición de láminas delgadas
dc.contributor.advisor | Cotrino Bautista, José | es |
dc.creator | Palmero Acebedo, Alberto | es |
dc.date.accessioned | 2015-04-16T09:23:04Z | |
dc.date.available | 2015-04-16T09:23:04Z | |
dc.date.issued | 2002 | es |
dc.identifier.citation | Palmero Acebedo, A. (2002). Modelos teóricos de plasmas de argón y oxígeno usados en la deposición de láminas delgadas. (Tesis Doctoral Inédita). Universidad de Sevilla, Sevilla. | |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11441/24177 | |
dc.format | application/pdf | es |
dc.language.iso | spa | es |
dc.rights | Atribución-NoComercial-SinDerivadas 4.0 España | |
dc.rights.uri | http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/ | es |
dc.subject | Plasma (Gases ionizados) | es |
dc.title | Modelos teóricos de plasmas de argón y oxígeno usados en la deposición de láminas delgadas | es |
dc.type | info:eu-repo/semantics/doctoralThesis | es |
dcterms.identifier | https://ror.org/03yxnpp24 | |
dc.rights.accessRights | info:eu-repo/semantics/openAccess | es |
dc.contributor.affiliation | Universidad de Sevilla. Departamento de Física Atómica, Molecular y Nuclear | es |
idus.format.extent | 137 p. | es |
dc.identifier.idus | https://idus.us.es/xmlui/handle/11441/24177 |
Ficheros | Tamaño | Formato | Ver | Descripción |
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H_T.S.-196.pdf | 5.894Mb | [PDF] | Ver/ | |