Diseño y realización de una válvula de alta presión en silicio usando tecnología MEMS

dc.contributor.advisor	Quero Reboul, José Manuel	es
dc.creator	Luque Estepa, Antonio	es
dc.date.accessioned	2014-11-27T11:47:18Z
dc.date.available	2014-11-27T11:47:18Z
dc.date.issued	2005	es
dc.identifier.citation	Luque Estepa, A. (2005). Diseño y realización de una válvula de alta presión en silicio usando tecnología MEMS. (Tesis Doctoral Inédita). Universidad de Sevilla, Sevilla.
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/11441/15286
dc.description.abstract	El objetivo de la investigación realizada es el estudio de las necesidades actuales en los sistemas microfluidicos en cuanto al control del paso de fluidos. A partir de este estudio, se han analizado los procesos de fabricación de dispositivos de pequeño	es
dc.format	application/pdf	es
dc.language.iso	spa	es
dc.rights	Atribución-NoComercial-SinDerivadas 4.0 España
dc.rights.uri	http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/
dc.subject	Micromáquinas	es
dc.subject	Dispositivos fluídicos	es
dc.subject	Válvulas	es
dc.subject	Diseño y construcción académicas	es
dc.title	Diseño y realización de una válvula de alta presión en silicio usando tecnología MEMS	es
dc.type	info:eu-repo/semantics/doctoralThesis	es
dcterms.identifier	https://ror.org/03yxnpp24
dc.rights.accessRights	info:eu-repo/semantics/openAccess
dc.contributor.affiliation	Universidad de Sevilla. Departamento de Ingeniería Electrónica	es
idus.format.extent	174 p.	es
dc.identifier.idus	https://idus.us.es/xmlui/handle/11441/15286

Ficheros	Tamaño	Formato	Ver	Descripción
D_T.286.pdf	2.376Mb	[PDF]	Ver/Abrir

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