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Listar Física Atómica, Molecular y Nuclear por autor "Yanguas Gil, Ángel"
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Tesis Doctoral
Estudio de la deposición asistida por plasma de láminas delgadas de óxido de silicio y siliconas
Yanguas Gil, Ángel (2005-10-19)La deposición asistida por plasma (PECVD) de láminas delgadas de óxido de silicio y siliconas es un proceso de gran interés ...