Propiedades fotofuncionales de nanoestructuras superficiales de óxidos preparadas mediante plasma y haces de iones

Abstract

El trabajo realizado durante el transcurso de esta tesis persigue la generación y estudio de nanoestructuras superficiales con aplicaciones fotofuncionales. Esta tesis pretende ampliar el conocimiento, tanto en la formación de nuevas nanoestructuras, como respecto de sus posibles a plicaciones fotofuncionales o la mejora de dichas propiedades. Para la formación de las nanoestructuras superficiales se han escogido dos métodos. En primer lugar, se utiliza un acelerador de partículas de media energía para implantar aniones en muestras de TiO2 con el propósito de modificar la nanoestructura superficial, así como la composición de las capas. En segundo lugar, se pretende controlar el crecimiento de nanoestructuras de TiO2 y ZnO mediante deposición química desde fase vapor asistida por plasma (PECVD). Con ello se pretende controlar la nanoestructura y composición de los óxidos estudiados. Para entender el crecimiento de las muestras crecidas mediante PECVD, se estudian los plasmas utilizados en los procesos de crecimiento de capas delgadas. Para tener un buen control de las nanoestructuras formadas, se deben tener en cuenta los siguientes puntos: - Propiedades ópticas. Controlar el índice de refracción y el coeficiente de extinción de las nanoestructuras. - Controlar la estructura cristalina de las nanoestructuras. - Control microestructural de la nanoestructura.