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Modelos teóricos de plasmas de argón y oxígeno usados en la deposición de láminas delgadas

 

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Author: Palmero Acebedo, Alberto
Director: Cotrino Bautista, José
Department: Universidad de Sevilla. Departamento de Física Atómica, Molecular y Nuclear
Date: 2002
Document type: Doctoral Thesis
Cite: Palmero Acebedo, A. (2002). Modelos teóricos de plasmas de argón y oxígeno usados en la deposición de láminas delgadas. (Tesis Doctoral Inédita). Universidad de Sevilla, Sevilla.
Size: 5.894Mb
Format: PDF

URI: http://hdl.handle.net/11441/24177

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