Tesis Doctoral
Diseño y realización de una válvula de alta presión en silicio usando tecnología MEMS
Autor/es | Luque Estepa, Antonio |
Director | Quero Reboul, José Manuel |
Departamento | Universidad de Sevilla. Departamento de Ingeniería Electrónica |
Fecha de publicación | 2005 |
Fecha de depósito | 2014-11-27 |
Resumen | El objetivo de la investigación realizada es el estudio de las necesidades actuales en los sistemas microfluidicos en cuanto al control del paso de fluidos. A partir de este estudio, se han analizado los procesos de ... El objetivo de la investigación realizada es el estudio de las necesidades actuales en los sistemas microfluidicos en cuanto al control del paso de fluidos. A partir de este estudio, se han analizado los procesos de fabricación de dispositivos de pequeño |
Cita | Luque Estepa, A. (2005). Diseño y realización de una válvula de alta presión en silicio usando tecnología MEMS. (Tesis Doctoral Inédita). Universidad de Sevilla, Sevilla. |
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D_T.286.pdf | 2.376Mb | [PDF] | Ver/ | |